高真空檢漏儀在將樣品放進(jìn)電鏡前，仔細(xì)檢驗樣品芯片安放是否存在泄露是必要的，這可以提高原位樣品臺的使用效率，保護(hù)透射電鏡。該設(shè)備是專門用于TEM樣品臺真空儲存和密封檢查。它能夠在5 min內(nèi)將系統(tǒng)內(nèi)真空度抽至10^(-5) mbar，即TEM內(nèi)的真空環(huán)境。搭配的超高分辨數(shù)字顯微系統(tǒng)，自帶13寸顯示器及自動變焦功能，放大倍率達(dá)200X，分辨率達(dá)1 μm。研究人員可輕松完成液體池/氣體池的密封性、完整性檢查。并可觀察芯片窗體是否破裂或者污染，檢驗樣品在窗體分布情況。
