什么是高真空存桿儀?

    更新時(shí)間:2022-06-15      點(diǎn)擊次數(shù):1470
      高真空存桿儀可自由設(shè)置為原位樣品臺(tái)提供高真空存放環(huán)境,避免樣品臺(tái)受到污染,更可清潔樣品臺(tái),尤其適用于原位樣品臺(tái)。方便研究人員對(duì)不同樣品臺(tái)的切換,觸屏控制最多可實(shí)現(xiàn)10路樣品臺(tái)單獨(dú)存取。系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)真空度檢測及真空度智能維持及漏氣報(bào)警功能。
     
      高真空存桿儀的結(jié)構(gòu)介紹:
      1.腔體靠近樣品區(qū)的位置為可視化窗口設(shè)計(jì),可直接觀察樣品桿上的樣品、芯片等,方便操作。接口模塊包含真空閥,用以在電源關(guān)閉時(shí)保持真空狀態(tài),或在取桿時(shí)實(shí)現(xiàn)氣體快速通入,加速樣品桿取出過程。高真空存桿腔體采用模塊化設(shè)計(jì),支持多個(gè)廠家樣品桿,適用廠家包括:JEOL、FEI、Hitachi。
      2.觸屏控制界面,可以進(jìn)行真空數(shù)據(jù)設(shè)定、讀取及觸控操作(HMI),圖形化界面清晰簡潔、操作簡便。
      3.高真空自動(dòng)控制系統(tǒng),可以根據(jù)參數(shù)設(shè)置要求,自動(dòng)控制分子泵的啟動(dòng)與停止,確保樣品桿長期處于高真空狀態(tài)。
      4.內(nèi)置高真空測量系統(tǒng)和高真空發(fā)生系統(tǒng),其中測量系統(tǒng)包括真空度測量和分子泵轉(zhuǎn)速測量,高真空發(fā)生系統(tǒng)包括真空管道、真空泵、真空閥、真空計(jì)等,為產(chǎn)品提供高真空存儲(chǔ)環(huán)境。

     

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